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炉子本体包括机架,坩埚驱动装置,主炉室,翻板阀,副炉室,籽晶提升机构,液压驱动装置,真空系统,冲氩气系统及水冷系统。机架由底座,上立柱和下立柱组成,是炉子的支撑装置。单晶炉的结构及基本操作的光伏产业凭借着自身的努力。其包括氩气输入管,与氩气输入管相连通的环形气体分布器,其特征在于经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×103Pa0.9×103Pa,氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置,其包括中轴孔,一对电极孔,以及与排气口相对的通气孔,石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔。本发明了一种直拉式单晶生长炉全文摘要为减少直拉式单晶生长炉的氩气消耗的技术问题所述电极柱分别穿过所述电极孔,排气口与气流导向装置的各通气孔相连通,气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。
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与线性电源相比,PWM关电源更为有效的工作过程是通过“斩波”,即把输入的直流电压斩成幅值等于输入电压幅值的脉冲电压来实现的。脉冲的占空比由关电源的控制器来调节。一旦输入电压被斩成交流方波,其幅值可以通过变压器来升高或降低。通过增加变压器的二次绕组数可以增加输出的电压值。后这些交流波形经过整流滤波后得到直流输出电压。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,电源频率:50HZ3,电源相数:3相3线制4,变压器容量:190KVA5,加热器大加热功率:160KW6,高加热温度:1600℃7。电源电压:380VAC±5%2提拉式单晶炉技术参数1加热器高加热电压:60V8。尤其是坩埚支持器下方的空间较大,导致坩埚支持器下方的混合气体不能及时排出,热能消耗量较大,另外,现有技术中,从氩气输入管向炉内充入氩气时,充气气压为1.3x103pa。在向单晶炉内不断充入氩气的同时,还必须用真空泵将混合气体排出炉外,在排气时,混合气体流经炉中的加热器,坩埚支持器等处,后经过炉下端的排气口排出。并与炉内生成的一氧化硅及杂质粉尘混合,由于单晶炉内的加热器和坩埚支持器等均由石墨制成,一氧化硅易腐蚀所述石墨制成的器件且杂质粉尘易吸附在这些器件上。