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回收提拉式单晶炉+泰州涡旋高真空泵回收每台价格

文章来源:shxj365 发布时间:2024-04-24 20:57:39
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进一步地,所述坩埚3为钨坩埚、焊接钼坩埚或者烧结钼坩埚。优选的是钨坩埚,因为钨的熔点高于钼的熔点,不容易高温挥发出来与氧气发生反应;目前常用的是烧结钼坩埚,但焊接钼坩埚的性能优于烧结钼坩埚,同样厚度的焊接钼坩埚和烧结钼坩埚耐受的使用温度和使用时间长短是一样的,有的甚远远高于烧结坩埚的使用时间。这是因为烧结的密度再高,也比不上经过多次轧制的钼板所有的致密度,因此焊接钼坩埚中的钼更加不容易挥发,进而与氧气反应产生MoO2。以人工方式在单晶炉前将固态多晶硅料一块块地从炉体外转移到石英坩埚内,再进行合炉,真空检漏[1]。整个过程非常缓慢,而且装料过程中要避免硅料碎屑落入热场内。传统装料方法为炉前装料离线装料技术在直拉法硅单晶生产中的应用\引言直拉法(CZ)生产单晶硅是目前单晶硅的主要方法。在单晶生产过程中装料时间(清炉结束到合炉)约为2h追求低成本和率成为每一个企业市场的逐胜之道。其中具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封。新型热屏不仅起到导流筒的作用,了氩气流场,使单晶氧含量下降,而且热屏解决了大直径单晶生长中结晶潜热难以散发的问题,提高了拉晶速率,降低了生产成本。

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